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36氪· 半导体行业观察·· 4 小时前AI 评分72
格罗方德发布FDX Fusion工艺,目标实现7nm级性能
FD-SOI,挑战7nm,凭啥?
AI 导读
格罗方德推出FDX Fusion工艺,基于FD-SOI技术,采用平面晶体管与DUV光刻,不使用EUV,目标逻辑密度达每平方毫米1400万个逻辑门(约5600万晶体管/mm²),在功耗和性能上对标7nm级别,通过应变硅衬底、栅极间距优化等技术提升性能,目前处于研发验证阶段。
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