中微公司Q3净利润同比增长159% 主要因高端刻蚀产品出货量提升

中微公司2026年第三季度归母净利润达13.09亿元，同比增长159.02%，主要得益于先进逻辑和存储器件用高端刻蚀设备新增付运量提升，以及前三季度公允价值变动和投资收益合计约19.40亿元，较上年同期增加约15.91亿元。公司研发投入32.22亿元，占营收比例约31.20%，新产品开发周期已缩短至两年以内。截至2026年9月底，公司累计超9300个反应台在国内外220余条产线实现量产。